SJ6000激光切割機(jī)精度激光干涉校準(zhǔn)儀采用進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器,、雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、多參數(shù)環(huán)境補(bǔ)償技術(shù),、高速數(shù)字信號(hào)處理系統(tǒng)等技術(shù),，通過與不同的光學(xué)鏡組結(jié)合，實(shí)現(xiàn)對(duì)線性,、角度,、直線度、垂直度,、平面度等幾何量的檢測(cè),。線性測(cè)長(zhǎng)精度0.5ppm，激光穩(wěn)頻精度：0.05ppm,。

激光切割機(jī)精度校準(zhǔn)

SJ6000激光切割機(jī)精度激光干涉校準(zhǔn)儀具有測(cè)量精度高,、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快,、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng),、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,，可實(shí)現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移,、速度,、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,，如振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組,、垂直度鏡組,、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái),。

主要鏡組圖

其中,，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度,、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償,。

動(dòng)態(tài)測(cè)量概述

SJ6000動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件搭配線性鏡組,、角度鏡組或直線度鏡組可以進(jìn)行相應(yīng)的線性、角度或直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè),。

動(dòng)態(tài)測(cè)量包括基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測(cè)量和基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量,，SJ6000動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件可對(duì)動(dòng)態(tài)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行位移分析、速度分析,、加速度分析,、振幅與頻率分析等。

位移-時(shí)間曲線

速度-時(shí)間曲線

加速度-時(shí)間曲線

振幅-頻率曲線

動(dòng)態(tài)測(cè)量應(yīng)用

1,、基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測(cè)量

機(jī)器運(yùn)動(dòng)控制性能評(píng)價(jià)：

(1)運(yùn)動(dòng)控制器PID控制參數(shù)測(cè)試與設(shè)置

(2)動(dòng)后機(jī)器的穩(wěn)定性測(cè)試與評(píng)價(jià)

(3)能運(yùn)動(dòng)控制器的微小步幅的測(cè)試

振動(dòng)監(jiān)視

(1)掃描應(yīng)用：用于定位精度不重要,，但恒速對(duì)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量成像非常關(guān)鍵的場(chǎng)合

(2)機(jī)床應(yīng)用：典型應(yīng)用包括要求刀具慢速、平穩(wěn)輪廓運(yùn)動(dòng)的高質(zhì)量表面精加工

振動(dòng)頻率分析

(1)被測(cè)對(duì)象的振動(dòng)頻率分析

(2)FFT快速傅立葉變換分析

2,、基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量

基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量,，SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)將沿著軸線“飛行"測(cè)量，即運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下以用戶定的間隔進(jìn)行數(shù)據(jù)采集,。

3,、提供脈沖觸發(fā)方式采集

CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵、編碼器,、控制器等信號(hào),，配合SJ6000激光干涉儀，可實(shí)現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動(dòng)采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集,。適用于運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下,，觸發(fā)激光干涉儀按照定的間隔位置進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。

產(chǎn)品功能

（1）可實(shí)現(xiàn)線性,、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；

（2）可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角,、直線度、垂直度等,；

（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn),；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),；

（5）具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,，包括位移分析、速度分析,、加速度分析,、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償,。

部分技術(shù)規(guī)格

平面度測(cè)量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測(cè)量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍,，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求：長(zhǎng)直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量

懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,，恕不另行通知,，不便之處敬請(qǐng)諒解。

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢,。